X射线通光窗口
窗口材料
Si3N4,SiC
窗口尺寸
0.2 mm × 0.2 mm至1 mm × 1 mm之间可选
窗口厚度
100 nm Si3N4或者150 nm SiC
窗口支撑结构尺寸
5 mm × 5 mm
窗口支撑结构厚度
200 μm Si3N4或者625 μm SiC
气体样品
气体种类
H2,CH4,C6H14,CO,CO2,O2,H2O,He,NOx,N2
气压范围
1–5 bar
气体流速
0–100 sccm
同时通入气体
1–4种
气体运动模式
静态气体环境或者动态微流体模式
固体样品
样品种类
粉末、薄膜、单晶
样品数量
1个
测量元素
B,C,N,O,F,Na,Mg,Al,Cl,P,S和3d过渡金属
样品尺寸
最大外径5 mm
样品厚度
不大于1 mm
样品温度
室温至800 K
反应池结构
固体样品安装方式
专用样品托
反应池最大外径
60 mm
反应池长度
不小于150 mm(固定法兰至顶部)
固定法兰尺寸
刀口法兰CF63
适用X射线能量范围
180–1600 eV